磁翻板液位計微執(zhí)行器的主要特點
從直觀上看.微執(zhí)行器的功能和一般執(zhí)行器非常類似.它僅僅是~般執(zhí)行器在幾何尺寸上的縮小.其實不然，這是由于當(dāng)微執(zhí)行器的特征尺寸一旦小到微米或納來數(shù)量級后，某些傳統(tǒng)機械的物理持性有可能不再適用，便得兩者之間在加工方法、設(shè)汁思想、結(jié)構(gòu)特點、材料選擇、直至基本機理等方面均有很大區(qū)別.再由干微執(zhí)行器的仲類縈多，涉及面很廣，是一門多學(xué)科的綜合交又技術(shù)。它涉及到微電子學(xué)、微機械學(xué)、微動力學(xué)、微摩擦學(xué)、材料學(xué)及微熱力學(xué)等多種學(xué)科.這給微執(zhí)行器的開發(fā)研制增加了許多困難.并引發(fā)出許多技術(shù)的不斷創(chuàng)新。再者，由于微小尺寸效應(yīng)，使得宏觀世界的許多知識與法則不再適用，這又引起了設(shè)計思想和加工工藝的創(chuàng)新。并引出了許多值得深人研究的新課題.諸如:
1)摩擦和磨損許多執(zhí)行器中往往都存在著運動部件，必然要產(chǎn)生相對摩擦和磨損。例如。防腐液位計馬達(dá)是自動控制系統(tǒng)中最常見的執(zhí)行器之一其應(yīng)用范圍遍及各個領(lǐng)域。在一般的馬達(dá)中，機械摩擦損耗僅占其總愉出功率的百分之幾甚至更小。而在直徑僅為1^-2 mm.高度不到〕mm的電進(jìn)型微馬達(dá)中.由于它所產(chǎn)生的電磁轉(zhuǎn)矩很小，僅在1zN-m數(shù)量級。機械摩林撅耗所占的比例就很大.甚至它所產(chǎn)生的電磁轉(zhuǎn)矩不足以克服機械摩擦.從而使得該做馬達(dá)不能正常運行.而許多傳統(tǒng)的減少摩擦的有效方法(如安裝滾珠軸承，加潤滑油等)又往往不適用干微馬達(dá).
深人研究結(jié)果表明:當(dāng)微執(zhí)行器中運動部件的幾何尺寸小到納米數(shù)量級時，原有宏觀摩擦學(xué)中的一些基本規(guī)律將不再適用。于是出現(xiàn)了微觀摩攘學(xué)。雖然目前微執(zhí)行器中的運動部件的幾何尺寸一般均在徽米數(shù)量級甚至更大，還不屬于徽觀摩擦學(xué)范疇.但隨著微執(zhí)行器幾何尺寸的不斷減小。摩擦對其輸出力矩的影響將越來越大。為了提高傲執(zhí)行器的工作效率和品質(zhì)，對其中的摩揀和磨損問題還是值得高度重視，并需要開展深人研究的，
2)加工制造工藝隨著浮球液位計執(zhí)行器體積的不斷減小，在加工制造工藝方面.許多傳統(tǒng)的機械加工工藝(如車、銑、淞、鑄等)已不能完全勝任，需要借助于現(xiàn)代徽電子
工業(yè)中的微細(xì)加工技術(shù)、組封裝技術(shù)和超梢密裝配技術(shù)來完成。微制造技術(shù)是制造尺寸為亞毫米到納米數(shù)量級的微小器件的重要加工方法.因此也是研究開發(fā)微執(zhí)行器的工藝基礎(chǔ)。例如在直徑僅為I mm的電磁型微馬達(dá)中的定子繞組就無法采用傳統(tǒng)繞制工藝，而只能借助于微細(xì)加工工藝來完成。
3)多學(xué)科交又微執(zhí)行器的發(fā)展歷史很短，至今僅數(shù)十年時間。但開發(fā)和研究所涉及的面很廣，是多學(xué)科前沿的綜合交叉。且玻璃管液位計加工工藝復(fù)雜，加工設(shè)備先進(jìn).圖1一4顯示了它的設(shè)計、加工所涉及的學(xué)科和基本工藝流程。
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